UVFAB Systems清洗機(jī) HELIOS-600 儀器

紫外線臭氧清洗系統(tǒng)

HELIOS-600型

UVFAB的紫外線臭氧清潔系統(tǒng)提供了一種簡(jiǎn)單、廉價(jià)、快速的方法，可以在大多數(shù)基材上獲得無(wú)有機(jī)污染物的超清潔表面，如石英、硅、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁、載玻片等。在基材清潔后幾分鐘內(nèi)，使用紫外線臭氧清潔劑可以很容易地實(shí)現(xiàn)超清潔表面。

紫外線臭氧清潔過(guò)程是一種光敏氧化過(guò)程，其中光致抗蝕劑、樹(shù)脂、人體皮膚油、清潔溶劑殘留物、硅油和助焊劑的污染物分子被短波紫外線輻射的吸收激發(fā)和/或解離。當(dāng)分子氧被185nm紫外線波長(zhǎng)分解，臭氧被254nm紫外線波長(zhǎng)解離時(shí)，同時(shí)產(chǎn)生原子氧。254nm的紫外線輻射被大多數(shù)碳?xì)浠衔锖统粞跷铡Ｎ廴疚锓肿拥倪@種激發(fā)產(chǎn)物與原子氧反應(yīng)形成更簡(jiǎn)單、更易揮發(fā)的分子，這些分子從表面解吸。因此，當(dāng)兩種紫外線波長(zhǎng)都存在時(shí)，原子氧會(huì)不斷產(chǎn)生，臭氧會(huì)不斷形成和破壞。使用紫外線臭氧清潔劑，可以在幾分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)近乎原子級(jí)的清潔表面，而不會(huì)對(duì)您的設(shè)備造成任何損壞。

紫外線臭氧清洗系統(tǒng)

HELIOS-600型

UVFAB Systems生產(chǎn)的HELIOS-600型紫外線臭氧清潔劑

高強(qiáng)度紫外格柵燈（185nm+254nm）

6x6x1.5英寸（150x150mm）抽屜樣品臺(tái)

帶不銹鋼反射器的紫外線格柵燈

抽屜安全聯(lián)鎖裝置

低擁有成本2英寸外徑排氣口

室溫下的大氣過(guò)程

200mm紫外線臭氧清洗系統(tǒng)

UV-208型

高密度臭氧產(chǎn)生紫外格柵燈

紫外燈和樣品臺(tái)之間的距離可變

最多可處理8英寸x 8英寸（200毫米）的樣品

低溫晶圓清洗

占地面積小、緊湊

抽屜裝載機(jī)構(gòu)

數(shù)字處理定時(shí)器、清洗定時(shí)器和紫外線燈小時(shí)計(jì)數(shù)器

300mm紫外線臭氧清洗系統(tǒng)

型號(hào)UV-312

300mm紫外線臭氧清洗機(jī)，型號(hào)UV-312

高密度臭氧產(chǎn)生紫外格柵燈

紫外燈和樣品臺(tái)之間的距離可變

最多可處理12英寸x 12英寸（300毫米）的樣品

低溫晶圓清洗

占地面積小、緊湊

抽屜裝載機(jī)構(gòu)

數(shù)字處理定時(shí)器、清洗定時(shí)器和紫外線燈小時(shí)計(jì)數(shù)器

UVFAB Systems清洗機(jī) HELIOS-600 儀器